| Module | Title | LV Type | CP | LV | Dates | Examination |
|---|---|---|---|---|---|---|
| Introduction to Micro Systems Technology | Einführung in die Mikrosystemtechnik | Fach-/Modulprüfung | 6 | 440704 | ||
| Microsystem Design | Konstruktion von Mikrosystemen | Fach-/Modulprüfung | 6 | 439001 | ||
| Microsystems development | Konstruktion von Mikrosystemen | Fach-/Modulprüfung | 6 | 439001 |